SIKAMA インラインコーティング/ウェハ洗浄システム

FALCON ICS 412 インラインコーティング / ウェハ洗浄システム

Falcon ICS 412 インラインフラックスコーティング/ウェハ洗浄システムは4つの処理液(2つの基準、すなわちフラックスやボウル洗浄など)を、4インチから12インチ（300mm）までの様々なサイズのウェハ上に調合することが可能です。ウェハサイズの変更が6インチから12インチの間であれば、変更の際にツールを交換する必要はありません。 配合方法の手順数に制限は無く、すべての処理パラメータは、調合の開始、終了、スイープ及び高さを含めて完全にプログラム可能です。 サーボドライブスピンチャックは1～2,000 RPMの速度でプログラム可能です。スピンチャック真空システムには真空システムの汚染を防ぐための流体トラップ貯水槽が含まれています。サーボドライブで完全に制御されたインラインベルト搬送は、調整、ロボットティーチング、あるいはセンサーの調整等を必要としません。ソフトウェアの診断モードでは、すべての入出力、サーボモータ、そしてエンコーダに関するビジュアルなメンテナンスを行うことができます。 エンジニアリングモードでは、直接かつ迅速なプロセス変更がリアルタイムで可能です。パスワード保護により、様々なレベルのオペレータによる運用が可能になります。